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SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀產(chǎn)品采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

中圖儀器激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量

GTS系列機(jī)器人位姿準(zhǔn)確度激光跟蹤測量儀是同時(shí)具高精度（μm級）、大工作空間（百米級）的高性能光電測量儀器。可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題。

PLR3000非接觸高精度測量光纖激光尺用于對精度要求苛刻、環(huán)境復(fù)雜的場景。比傳統(tǒng)光柵精度高10倍，分辨率達(dá)原子層級（10nm=100個(gè)原子直徑！） PLR3000 系列光纖激光尺已在多個(gè)客戶端進(jìn)行精度驗(yàn)證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進(jìn)行閉環(huán)控制，在10mm行程內(nèi)任意位置實(shí)現(xiàn)納米級位置控制精度。

中圖儀器GTS系列0.5μm干涉測距精度激光跟蹤儀可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測量問題，廣泛應(yīng)用在飛機(jī)、汽車、船舶、航天、機(jī)器人、核電、軌道交通裝備制造行業(yè)以及大型科學(xué)工程、工業(yè)母機(jī)的高精密加工和裝配中。